크린룸개요
21세기를 향한 기술의 발달과 첨단산업분야의 연구개발과 생산과정에서 중대한 방해를 초래하는 공기중의 부유입자 및 부유세균을 제거하기위하여 필터에의한 여과,온도,습도,공기압,소음,정전기,조도등의 제어에 관하여 환경적으로 제어되는 공간을 크린룸이라 정의하며 크린룸의 분류는 크게 ICR(Industrial Clean Room)과 BCR(Biological Clean Room)으로 분류되며 ICR에는 반도체공정,전자기기공정으로 BCR에는 병원,GMP,GLP,HACCP등으로 분류되어 각각의 규정에 맞도록 설계,시공하여 운영하게된다.
![dot01.gif]( "dot01.gif") 크린룸 관련용어
용 어 | 해설 | | 청정(Clean) | 먼지와 오염이 없는 깨끗한 상태 | | 청정도(Cleaness) | 일정량의 공기중에 포함된 먼지나 오염의 정도를 말하며 1세제곱 Fit의 체적공기에 포함된 먼지의 수로 표시한다. | | 청정등급(Class) | 청정실의 청정도를 구별하기 위해 규정하며 원어는 Cleaness class이다. | | 청정실(Clean Room) | 먼지가 제거된 상태에서 관리,유지되는 깨끗한 방 | | 먼지(Particle.Dust) | 청정실내에 존재하는 모든 먼지나 부유물질 | | 오염(Contamination) | 공정, 제품의 기능,신뢰성 등에 결함을 일으키는 모든요소 | 방진복
(Smock, Clean Room Garment) | 사람의몸에서 발생하는 먼지가 청정실로 빠져나가지 않도록 착용하는 의복 | | 수율(Yield) | 생산된 제품 중 양품이 차지하는 비율 |
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![dot01.gif]( "dot01.gif") 청정도규격 |
입자에 다른 class표시와 균수와의 관계는 표준치로서 미국 항공 우주국(NASA), WHO GMP 및 FDA규격이 있다.
 NASA 규격에 의한 청정도 Class 분류
청정도 Class | 대기중 부유균(개/ ft³ ) | 낙하균(개/ft³ .week) | 100 | 0.1 | 1,200 | 10,000 | 0.5 | 6,000 | 100,000 | 2.5 | 30,000 |
WHO GMP에 의한 청정도 Class 분류 Grade | 입자농도 | 부유균 농도(CFU/㎥) | 0.5~5 | 5 | A | 3,500 | 0 | 1> | B | 3,500 | 0 | 5 | C | 350,000 | 2,000 | 100 | D | 3,500,000 | 20,000 | 500 |
FDAP에 의한 청정도 Class 분류
| 입자농도 | 부유균 농도(개/ ft³ ) | 중요구역 | Class 100 | 0.1 | 관리구역 | Class 100,000 | 2.5 |
WHO GMP에 의한 청정도 Class 분류 청정도 Class | FDA | NASA | WHO GMP | 개/㎥(개/ ft³ ) | 개/㎥(개/ ft³ ) | 개/㎥ | A 100 | - | - | 1> | B 100 | 3,5(0.1) | 3,5(0.1) | 5 | C 10,000 | - | 18(0.5) | 100 | D 100,000 | 88(2.5) | 88(2.5) | 500 |
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![dot01.gif]( "dot01.gif") CLEAN ROOM의 분야별 청정도
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